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TEM透射电镜基本原理

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透射电子显微镜(TEM)是以电子束作为照明源，用电磁透镜聚焦成像的一种高放大倍数的电子光学仪器。根据不同工作模式，可以做高分辨扫描透射STEM, 高分辨TEM像，配备的球差自动校正实现原子级成像，晶体的选区衍射SAD，FFT快速傅里叶变换做微区晶型分析，其EDX能谱可以做空间分辨率达到纳米级的元素分析；配备的电子能量损失谱EELS, 适合于轻元素如C/N/O/Si在纳米范围内的分析。

由电子枪发射出来的电子束，在真空通道中沿着镜体光轴穿越聚光镜，会聚成一束尖细、明亮而又均匀的光斑，照射在样品室内的样品上；透过样品后的电子束携带有样品内部的结构信息，样品内致密处透过的电子量少，稀疏处透过的电子量多；经过物镜的会聚调焦和初级放大后，电子束进入下级的中间透镜和第1、第2投影镜进行综合放大成像，最终被放大了的电子影像投射在观察室内的荧光屏板上；从而将电子影像转化为可见光影像以供观察。

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TEM透射电镜仪器介绍

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仪器能力介绍：

STEM分辨率： 0.08nm @ Cs校正

TEM点分辨率0.204nm,晶格分辨率0.1nm

EDS能量分辨率：131eV,

EDS空间分辨率1~5nm

EELS能量分辨率：1.0eV,

空间分辨率0.5nm

电压：80KV~200KV

EDS：Super-X EDS,

SDD无窗4探头， 0.98Srad

EELS：Gatan 977 Enfinium ER

TEM透射电镜分析示例

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